一種薄膜氫氣傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023155903.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214749930U 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214749930U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) G01N27/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 汪獻(xiàn)忠;李建國;張志輝;赫樹開 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南省智儀系統(tǒng)工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州豫開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱俊峰
地址 450001河南省鄭州市高新區(qū)玉蘭街101號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種薄膜氫氣傳感器，包括基底，基底模面上設(shè)有對(duì)氫氣敏感的測氫薄膜電阻、對(duì)溫度敏感的測溫薄膜電阻以及加熱薄膜電阻；測溫薄膜電阻和加熱薄膜電阻為具有同一圓心的圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，測溫薄膜電阻上設(shè)有一個(gè)斷開的第一缺口形成第一測溫終端和第二測溫終端，加熱薄膜電阻上設(shè)有一個(gè)斷開的第二缺口形成第一加熱終端和第二加熱終端，測氫薄膜電阻設(shè)置測溫薄膜電阻和加熱薄膜電阻當(dāng)中測氫薄膜電阻為并線雙螺旋結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的薄膜氫氣傳感器相對(duì)結(jié)構(gòu)簡單，且制作工藝簡單，周期短，成本可控，穩(wěn)定可靠性強(qiáng)，可滿足在氫燃料電池汽車應(yīng)用中的成本要求。