一種翹起結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910021859.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109750253B 公開（公告）日 2019-05-14
申請公布號 CN109750253B 申請公布日 2019-05-14
分類號 C23C14/02(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 江蘇潤祁項(xiàng)目管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京擎天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 涂春春
地址 225300江蘇省泰州市泰鎮(zhèn)路東側(cè)約100米、疏港路北側(cè)3棟2號1006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微納結(jié)構(gòu)制備領(lǐng)域，具體涉及一種翹起結(jié)構(gòu)的制備方法，只需要校場一次，通過對不同區(qū)域選擇不同的曝光深度，蒸鍍兩次，再將其放入熱場中，調(diào)節(jié)熱場的溫度，來調(diào)控翹起的角度。整個制備過程簡單易操作，翹起結(jié)構(gòu)的制備精度高，角度易于調(diào)控。