高分辨率二維快速控制反射鏡動態(tài)角度測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110673640.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113405490A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113405490A 申請公布日 2021-09-17
分類號 G01B11/26（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G02B26/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 康登魁;姜昌錄;王楠茜;俞兵;袁泉;陳潔婧;王生云;王雷;張玫;黎高平 申請（專利權(quán)）人 西安應(yīng)用光學(xué)研究所
代理機(jī)構(gòu) 中國兵器工業(yè)集團(tuán)公司專利中心 代理人 周恒
地址 710065陜西省西安市雁塔區(qū)電子三路西段九號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光學(xué)計(jì)量與測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高分辨率二維快速控制反射鏡動態(tài)角度測量裝置。所述測量裝置包括：激光器、空間濾波器、參考反射鏡、電動三維位移臺、匯聚透鏡、高速CCD相機(jī)；本發(fā)明采用參考反射鏡與FSM光路折轉(zhuǎn)的方式，將FSM偏轉(zhuǎn)角度提高為2倍，可以實(shí)現(xiàn)較高分辨率的測量。當(dāng)FSM的傾斜角度分辨率為0.02″時(shí)，當(dāng)光線反射四次后，其光束最小偏向角約為0.001″，該方法較自準(zhǔn)直法的分辨率有明顯的提升。本發(fā)明采用TEM00模式的激光光斑作為測量目標(biāo)，可以避免自準(zhǔn)直儀測量時(shí)十字線目標(biāo)亮度損失較大的問題。