一種多工位晶圓承載盤
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020541454.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212476950U | 公開（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請公布號 | CN212476950U | 申請公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號 | C30B25/12(2006.01)I; | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 宣榮衛(wèi);呂俊 | 申請（專利權(quán)）人 | 艾華（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 劉剛 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及圓承載盤技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種多工位晶圓承載盤，包括固定盤，所述固定盤內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有固定軸，且所述固定軸與所述固定盤固定連接，所述固定軸內(nèi)側(cè)設(shè)置有承載盤本體，且所述承載盤本體與所述固定軸轉(zhuǎn)動連接，所述承載盤本體頂端設(shè)置有固定工位，且所述固定工位與所述承載盤本體固定連接。該一種多工位晶圓承載盤，通過設(shè)置固定軸和伸縮彈簧，在承載盤本體不使用時，將承載盤本體通過固定軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)至固定工位向下的位置，然后伸縮彈簧固定在固定盤的內(nèi)側(cè)，進(jìn)而將旋轉(zhuǎn)過的承載盤本體穩(wěn)定的固定住，將承載盤的固定工位進(jìn)行保護(hù)，避免承載盤本體在不使用的時候固定工位內(nèi)側(cè)沾有灰塵，給固定工位的每一次的使用帶來便利。?? |
