一種晶圓載具的檢測工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110591244.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113357991A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113357991A 申請公布日 2021-09-07
分類號 G01B5/00;G01B5/245 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宣榮衛(wèi);陳娟 申請（專利權(quán)）人 艾華（無錫）半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫盛陽專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張寧;楊辰
地址 214000 江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓載具的檢測工裝，其能夠提高檢測精度和檢測效率，其包括機架，其特征在于，所述機架包括左支架和右支架，所述左支架與所述右支架一端連接、另一端不連接形成檢測通道，所述左支架與所述右支架連接的一端安裝有刻度背板，所述刻度背板上設(shè)有水平刻度線和垂直刻度線，所述左支架與所述右支架上安裝有對稱布置的下導軌，所述下導軌上端面安裝有上導軌，所述上導軌上設(shè)置有支撐板，所述支撐板上安裝有銷軸，載具兩側(cè)通過滾輪支撐于所述下導軌或所述銷軸插入所述載具上的銷孔內(nèi)實現(xiàn)所述載具的懸掛。