一種吸取多片晶圓的吸盤組
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110591216.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113291814A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113291814A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | B65G49/07（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分類 | 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料; |
| 發(fā)明人 | 吳何軍;宣榮衛(wèi) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 艾華（無(wú)錫）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫盛陽(yáng)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張寧;楊辰 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及光伏、半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種吸取多片晶圓的吸盤組，其能夠一次實(shí)現(xiàn)多片晶圓的流轉(zhuǎn)，流轉(zhuǎn)過(guò)程中防止晶圓與吸盤接觸面發(fā)生相對(duì)移動(dòng)，減少對(duì)晶圓表面的損傷，提高晶圓在生產(chǎn)效率及流轉(zhuǎn)過(guò)程中的良率，其包括吸盤和安裝座，吸盤包括至少兩個(gè)且并排間隔布置，吸盤包括安裝區(qū)和吸附區(qū)，吸附區(qū)的正面開設(shè)有真空導(dǎo)流氣道，真空導(dǎo)流氣道上開設(shè)有抽真空口，安裝區(qū)的正面高于吸附區(qū)正面，安裝區(qū)的正面開設(shè)有分片氣道、端部開設(shè)有吸盤真空進(jìn)氣口，吸盤真空進(jìn)氣口通過(guò)吸盤內(nèi)部的連通氣道與抽真空口連通，安裝座包括固定連接的分氣板、吸盤固定座、密封壓板，分氣板與吸盤固定座之間設(shè)置有第一密封墊。 |
