一種懸掛式晶圓載具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020541452.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211743106U | 公開（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請公布號 | CN211743106U | 申請公布日 | 2020-10-23 |
| 分類號 | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 宣榮衛(wèi);呂俊 | 申請（專利權(quán)）人 | 艾華（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾華（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種懸掛式晶圓載具，包括載具本體，所述載具本體的外表面固定套接有防護(hù)殼，所述載具本體頂部的兩側(cè)均固定安裝有豎桿，所述豎桿的頂端貫穿防護(hù)殼并延伸至防護(hù)殼的上方。該懸掛式晶圓載具，通過設(shè)置防護(hù)殼、豎桿和吊環(huán)，由于防護(hù)殼的設(shè)計，將會提高了對載具本體整體的防護(hù)效果，從而降低了外界碰撞對載具本體所產(chǎn)生的不利影響，同時由于豎桿和吊環(huán)之間的配合，使得載具本體整體便于懸掛，此時載具本體整體將會分別受到拉力和重力作用，而產(chǎn)生受力平衡，使其在長期使用的過程中不易發(fā)生彎曲變形，便于操作人員的使用，因此增加了該晶圓載具的實用性。?? |
