一種晶圓雙層輸送機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110591897.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113345825A 公開（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113345825A 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宣榮衛(wèi);陳娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 艾華（無(wú)錫）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫盛陽(yáng)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張寧;楊辰
地址 214000江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓雙層輸送機(jī)構(gòu)，其能夠提高輸送效率和設(shè)備產(chǎn)能，簡(jiǎn)化維護(hù)操作，其包括安裝于底座的下層輸送機(jī)構(gòu)，其特征在于，下層輸送機(jī)構(gòu)上方設(shè)置有上層輸送機(jī)構(gòu)，上層輸送機(jī)構(gòu)和下層輸送機(jī)構(gòu)機(jī)構(gòu)均包括并排布置的至少兩個(gè)槽體，每個(gè)槽體上安裝有輥筒軸承座和輸送輥筒，下層輸送機(jī)構(gòu)的輸送起始端第一個(gè)槽體為固定槽體，其余的槽體為活動(dòng)槽體且底部通過(guò)滑塊與底座上的導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，上層輸送機(jī)構(gòu)的輸送起始端第一個(gè)槽體位于下層輸送機(jī)構(gòu)的的輸送起始端第二個(gè)槽體上方，下層輸送機(jī)構(gòu)一側(cè)為傳動(dòng)側(cè)、另一側(cè)為操作側(cè)，下層輸送機(jī)構(gòu)的活動(dòng)槽體可在操作側(cè)向外拉出。