一種絕緣晶圓載盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020540335.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211743105U 公開（公告）日 2020-10-23
申請公布號 CN211743105U 申請公布日 2020-10-23
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宣榮衛(wèi);呂俊 申請（專利權）人 艾華（無錫）半導體科技有限公司
代理機構 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 艾華（無錫）半導體科技有限公司
地址 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體制造技術領域，且公開了一種絕緣晶圓載盤，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有固定塊，所述固定塊的內(nèi)部活動套接有晶圓本體，所述晶圓本體的底部與底座的頂部活動連接，所述底座頂部的兩側均開設有固定孔。該絕緣晶圓載盤，通過設置固定塊、固定孔、螺紋桿和活動塊，由于固定塊和活動塊的設計，將會對晶圓本體起到了良好的存放和保護作用，避免其發(fā)生損壞，而由于固定孔和螺紋桿之間的配合，將會對底座和活動蓋之間進行固定，從而保障了晶圓本體存放的穩(wěn)定性，無需采用真空泵結構，不僅解除了晶圓載盤的安裝空間限制，而且降低了其生產(chǎn)成本，因此增加了該晶圓載盤的實用性。??