一種真空氣壓調(diào)節(jié)裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020540442.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212616577U | 公開（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請公布號(hào) | CN212616577U | 申請公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;F16K17/24(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 宣榮衛(wèi);呂俊 | 申請（專利權(quán)）人 | 艾華（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 劉剛 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。且公開了一種真空氣壓調(diào)節(jié)裝置，包括外腔室，所述外腔室內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)腔室，且所述內(nèi)腔室與所述外腔室固定連接，所述內(nèi)腔室底端設(shè)置有有限聯(lián)通管，且所述有限聯(lián)通管與所述內(nèi)腔室固定連接。該一種真空氣壓調(diào)節(jié)裝置，通過有限聯(lián)通管，有限聯(lián)通管為有底管狀結(jié)構(gòu)，和內(nèi)腔室直接相連，底部部分鏤空，鏤空部分和外腔室相連，蓋板為圓形薄板，可蓋在有限聯(lián)通管的鏤空部分，且可以自由上下移動(dòng)，蓋板下落將有限聯(lián)通管的鏤空部分蓋住，內(nèi)外腔隔絕(或有微小泄漏)，蓋板狀態(tài)和內(nèi)腔室和外腔室壓差，有限聯(lián)通管鏤空面積及蓋板重量有關(guān)，當(dāng)壓差較大時(shí)，推動(dòng)蓋板上升，壓差較小時(shí)蓋板下落，可以實(shí)現(xiàn)內(nèi)外壓差恒定，而不隨腔室壓力變化。?? |
