一種溝槽終端結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110023025.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112768506A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112768506A 申請公布日 2021-05-07
分類號 H01L21/28(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李加洋;陶瑞龍;胡興正;薛璐;劉海波 申請（專利權(quán)）人 滁州華瑞微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 施昊
地址 239000安徽省滁州市南譙區(qū)雙廟路與興隆路交叉口西南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種溝槽終端結(jié)構(gòu)及其制備方法，溝槽呈環(huán)狀分布于有源區(qū)的外圍，在溝槽的外圍設有截止環(huán)，溝槽包括若干條間斷溝槽和一條連續(xù)溝槽，所述連續(xù)溝槽位于間斷溝槽與截止環(huán)之間，每條間斷溝槽包括若干條等間距設置的間斷子溝槽，且相鄰間斷溝槽的間斷子溝槽交錯分布。本發(fā)明使得終端位置的電勢分布更均勻，并減小了終端寬度，提升了器件性能。??