一種改善EMI及降低特征電阻的超結器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120092933.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214226914U 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN214226914U 申請公布日 2021-09-17
分類號 H01L29/06（2006.01）I;H01L29/78（2006.01）I;H01L21/336（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何軍;胡興正;薛璐;劉海波 申請（專利權）人 滁州華瑞微電子科技有限公司
代理機構 南京瑞華騰知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 邱歡歡
地址 239000安徽省滁州市南譙區(qū)雙廟路與興隆路交叉口西南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種改善EMI及降低特征電阻的超結器件。該器件包括襯底、多層設置在襯底上側的第一外延和設置在第一外延上側的第二外延，每層第一外延上側均摻雜形成有第一導電類型的摻雜區(qū)，并制作形成有多個間隔設置的第二導電類型的摻雜區(qū)，多層第一外延上的第二導電類型的摻雜區(qū)沿豎向排列設置，第二外延上刻蝕形成有多個溝槽，每一溝槽設置在一列第二導電類型的摻雜區(qū)的上側，且其內(nèi)部回填有第二導電類型的雜質(zhì)，在縱向相鄰的兩個第二導電類型的摻雜區(qū)之間以及溝槽與其下側的第二導電類型的摻雜區(qū)之間均連接有第二導電類型連接柱。本實用新型的單位面積特征電阻更低，具有良好的EMI特性，并且制作工藝復雜程度適中。