一種薄膜壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110069731.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112924056A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112924056A 申請公布日 2021-06-08
分類號 G01L1/14;A61B5/03;A61B5/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 段曉東;張少邦;劉雷 申請（專利權(quán)）人 鈦深科技（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯思誠業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇勝
地址 200120 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)金穗路2218號1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種薄膜壓力傳感器，所述薄膜壓力傳感器包括：電路層，所述電路層包括一個或多個傳感元件；功能膜層；結(jié)合層；其中，所述電路層與所述功能膜層通過所述結(jié)合層貼合。本申請中，該薄膜壓力傳感器的電路層、結(jié)合層和功能膜層三者組合形成了一個電容，功能膜層在受到外界壓力時，外界壓力變化使上述功能膜層朝向電路層變形，功能膜層與電路層的傳感元件接觸，使得傳感元件的電容值變化，進(jìn)而通過標(biāo)定電容值和外界壓力值的對應(yīng)關(guān)系來表示壓力大小。外界壓力消失時，功能膜層能夠恢復(fù)原始狀態(tài)，從而能夠多次測量，并使得薄膜傳感器易于進(jìn)行壓力檢測且具有高靈敏度。