一種高控制精度和高重復定位精度多自由度平移臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022486460.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213655473U 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN213655473U 申請公布日 2021-07-09
分類號 F16C29/02（2006.01）I;F16H25/24（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 謝斌平;池彬;趙嘉峰 申請（專利權）人 費勉儀器科技（上海）有限公司
代理機構 上海國瓴律師事務所 代理人 傅耀
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)智達路6號智城園區(qū)3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種高控制精度和高重復定位精度多自由度平移臺，包括第一平移臺、第二平移臺、平移驅動裝置、光柵尺和光柵尺讀取頭，所述第一平移臺和所述第二平移臺滑動安裝，所述平移驅動裝置連接所述第一平移臺和所述第二平移臺，所述光柵尺位于所述第一平移臺上，所述光柵尺讀取頭位于所述第二平移臺上，所述光柵尺位于所述光柵尺讀取頭一側。其中本實用新型的有益效果是：通過平移驅動裝置結合光柵尺作為閉環(huán)反饋控制，實時反饋實際位置。實現高的控制精度和高的重復定位精度，可達到亞微米級。