一種濺射靶材的去內(nèi)應(yīng)力校正方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010493074.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111607752B | 公開（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111607752B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-13 |
| 分類號(hào) | C22F3/00;C23C14/35;B21D3/16 | 分類 | 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理; |
| 發(fā)明人 | 張科;黃先彬;林曉明;池銘浩;李強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京高沃律師事務(wù)所 | 代理人 | 馬小星 |
| 地址 | 350200 福建省福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)航城街道琴江村太平里169號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種濺射靶材的去內(nèi)應(yīng)力校正方法，屬于靶材制造領(lǐng)域。本發(fā)明通過(guò)預(yù)壓使濺射靶材在冷卻過(guò)程中不發(fā)生變形，再利用高頻振動(dòng)的方式釋放靶材綁定過(guò)程中產(chǎn)生的殘余應(yīng)力，最后進(jìn)行校直保壓處理。相比于傳統(tǒng)工藝中的直接保壓方法，本發(fā)明的方法具有生產(chǎn)周期短、內(nèi)應(yīng)力消除率高、使用方便、易于實(shí)現(xiàn)機(jī)械化、自動(dòng)化且成品率高的優(yōu)點(diǎn)，具有顯著的經(jīng)濟(jì)應(yīng)用價(jià)值。 |
