一種濺射靶材的去內應力校正方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010493074.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111607752A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN111607752A 申請公布日 2021-07-13
分類號 C22F3/00;C23C14/35;B21D3/16 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 張科;黃先彬;林曉明;池銘浩;李強 申請（專利權）人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
代理機構 北京高沃律師事務所 代理人 馬小星
地址 350200 福建省福州市長樂區(qū)航城街道琴江村太平里169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種濺射靶材的去內應力校正方法，屬于靶材制造領域。本發(fā)明通過預壓使濺射靶材在冷卻過程中不發(fā)生變形，再利用高頻振動的方式釋放靶材綁定過程中產生的殘余應力，最后進行校直保壓處理。相比于傳統(tǒng)工藝中的直接保壓方法，本發(fā)明的方法具有生產周期短、內應力消除率高、使用方便、易于實現(xiàn)機械化、自動化且成品率高的優(yōu)點，具有顯著的經濟應用價值。