一種銀銅合金靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910689041.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110318024B 公開（公告）日 2021-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN110318024B 申請(qǐng)公布日 2021-04-06
分類號(hào) C23C14/34(2006.01)I;C22C5/08(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張科;陳欽忠;邱樹將;李小錦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 趙曉琳
地址 350200福建省福州市長(zhǎng)樂市航城街道琴江村太平里169號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種銀銅合金靶材及其制備方法，屬于濺射靶材技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供的銀銅合金靶材的制備方法，包括以下步驟：將銅和銀在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熔煉，得到液態(tài)合金；將所述液態(tài)合金進(jìn)行噴射沉積處理，得到銀銅合金鑄錠；將所述銀銅合金鑄錠依次進(jìn)行均勻化退火、ECAP擠壓、低溫退火、鐓粗變形和軋制處理，得到銀銅合金粗錠；將所述銀銅合金粗錠進(jìn)行再結(jié)晶退火處理，得到銀銅合金靶材。本發(fā)明制得的銀銅合金靶材具有晶粒尺寸細(xì)小、晶粒分布均勻、成分均勻和致密性高的特點(diǎn)。??