一種靶材的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811146501.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109023269B 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN109023269B 申請公布日 2021-01-05
分類號 C23C14/34;C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳欽忠;陳寶忠;林志河;蔡小勇;邱樹將 申請（專利權(quán)）人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
地址 350200 福建省福州市長樂市航城街道琴江村太平里169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用電刷鍍方式在靶坯的接觸面制作第一膜層；采用電刷鍍方式在背板的接觸面制作第二膜層；所述第二膜層與所述第一膜層材質(zhì)相同；用自來水將所述靶坯和所述背板沖凈、吹干；將所述靶坯和所述背板疊合固定在加熱平臺上；疊合時所述靶坯的接觸面的第一膜層與所述背板的接觸面的第二膜層接觸；打開所述加熱平臺，調(diào)節(jié)溫度范圍，所述溫度范圍為高于所述第一膜層和第二膜層的熔點，且小于所述靶坯和所述背板的熔點的溫度范圍；保溫保壓1小時后關(guān)閉所述加熱平臺；冷卻后，完成所述靶坯與所述背板的結(jié)合，完成靶材的制作。采用本發(fā)明靶材的制作方法，可以提高靶材的結(jié)合率，提高靶材的質(zhì)量。