發(fā)光二極管芯片及其制作方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010872056.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112216782B | 公開(公告)日 | 2021-10-08 |
申請公布號 | CN112216782B | 申請公布日 | 2021-10-08 |
分類號 | H01L33/62(2010.01)I;H01L33/54(2010.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 蘭葉;吳志浩;李鵬 | 申請(專利權)人 | 華燦光電(浙江)有限公司 |
代理機構 | 北京三高永信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 | 代理人 | 呂耀萍 |
地址 | 322000浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)蘇福路233號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本公開提供了一種發(fā)光二極管芯片及其制作方法,屬于半導體技術領域。芯片包括透明基板、N型半導體層、有源層、P型半導體層、N型電極、P型電極、絕緣層、N型焊盤、P型焊盤和保護層;外延層上設有凹槽和隔離槽;N型電極設置在N型半導體層上,P型電極設置在P型半導體層上;絕緣層鋪設在除N型電極和P型電極所在區(qū)域之外的區(qū)域上,絕緣層內設有第一通孔和第二通孔;N型焊盤設置在第一通孔內和絕緣層上,P型焊盤設置在第二通孔內和絕緣層上;N型焊盤和P型焊盤均包括依次層疊的腐蝕敏感層、腐蝕遲鈍層和焊接層,保護層插設在N型焊盤和P型焊盤的邊緣區(qū)域的腐蝕遲鈍層中,并至少延伸到N型焊盤和P型焊盤的設置表面。本公開可靠性較高。 |
