基于體聲波的光傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110381704.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113188655A | 公開（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113188655A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-30 |
| 分類號(hào) | G01J1/42 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李國(guó)強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣州市艾佛光通科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州容大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉新年 |
| 地址 | 510000 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號(hào)B2棟1103室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及光傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于體聲波的光傳感器及其制備方法。所述光傳感器包括襯底及其上方的光敏壓電震蕩層；所述襯底上具有空氣腔；所述光敏壓電震蕩層根據(jù)光信號(hào)變化而發(fā)生頻率變化，包括從下至上依次排列的下電極、壓電薄膜、上電極、光敏薄膜。本發(fā)明將光敏薄膜與壓電薄膜相結(jié)合形成具有光敏特性的壓電震蕩堆，制備成光敏壓電震蕩層，利用壓電效應(yīng)和光電效應(yīng)共同影響壓電層的頻率特性，通過諧振頻率的變化表征檢測(cè)的光信號(hào)。具有靈敏度高、信號(hào)噪聲小的優(yōu)點(diǎn)。 |
