蘭姆波諧振器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110894385.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113794462A 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113794462A 申請公布日 2021-12-14
分類號 H03H9/205（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H01L41/332（2013.01）I;H01L41/331（2013.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李國強 申請（專利權）人 廣州市艾佛光通科技有限公司
代理機構 廣州容大知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉新年
地址 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號B2棟1103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及射頻濾波器技術領域，具體涉及一種蘭姆波諧振器及其制備方法。所述蘭姆波諧振器包括自下而上的襯底，叉指底電極、壓電層和叉指頂電極；所述襯底上刻蝕有空腔；所述壓電層未被叉指頂電極覆蓋的表面有反射金屬層；所述壓電層具有弧形邊緣。本發(fā)明提供的蘭姆波諧振器中，反射金屬層與壓電層的弧形邊緣協(xié)同作用，將聲波有效地限制在壓電層中，降低了聲波傳輸損耗；此外本發(fā)明的蘭姆波諧振器散熱更快，降低了諧振器的溫度，提高了諧振器的功率容量以及品質(zhì)因數(shù)。