一種硅晶棒旋轉(zhuǎn)加工系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110177507.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112958321B 公開（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112958321B 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) B05B13/02（2006.01）I;B05B15/50（2018.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新一代半導(dǎo)體研究所（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市國(guó)亨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李夏宏
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道濱海社區(qū)海天二路25號(hào)深圳灣創(chuàng)業(yè)投資大廈35層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅晶棒旋轉(zhuǎn)加工系統(tǒng)，包括工作臺(tái)、移動(dòng)裝置、固定裝置和夾緊裝置，所述的工作臺(tái)頂部左右兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有移動(dòng)裝置，兩組所述的移動(dòng)裝置的上端相對(duì)面設(shè)置有固定裝置，兩組所述的移動(dòng)裝置的相對(duì)面且位于固定裝置的外側(cè)設(shè)置有夾緊裝置，本發(fā)明通過設(shè)置的工作臺(tái)、移動(dòng)裝置、固定裝置和夾緊裝置的配合，首先根據(jù)不同長(zhǎng)度的硅晶棒進(jìn)行調(diào)節(jié)移動(dòng)裝置，當(dāng)移動(dòng)裝置調(diào)節(jié)好之后，此時(shí)根據(jù)不同直徑的硅晶棒進(jìn)行調(diào)節(jié)固定裝置，從而提高了機(jī)械的適用性，在調(diào)節(jié)固定裝置的同時(shí)，通過設(shè)置的夾緊裝置對(duì)固定裝置進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減小了勞動(dòng)力，且大大提高了機(jī)械的工作效率。