一種硅晶棒旋轉加工系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110177507.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112958321A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112958321A 申請公布日 2021-06-15
分類號 B05B13/02（2006.01）I;B05B15/50（2018.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 新一代半導體研究所（深圳）有限公司
代理機構 深圳市國亨知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李夏宏
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道濱海社區(qū)海天二路25號深圳灣創(chuàng)業(yè)投資大廈35層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅晶棒旋轉加工系統(tǒng)，包括工作臺、移動裝置、固定裝置和夾緊裝置，所述的工作臺頂部左右兩側對稱設置有移動裝置，兩組所述的移動裝置的上端相對面設置有固定裝置，兩組所述的移動裝置的相對面且位于固定裝置的外側設置有夾緊裝置，本發(fā)明通過設置的工作臺、移動裝置、固定裝置和夾緊裝置的配合，首先根據不同長度的硅晶棒進行調節(jié)移動裝置，當移動裝置調節(jié)好之后，此時根據不同直徑的硅晶棒進行調節(jié)固定裝置，從而提高了機械的適用性，在調節(jié)固定裝置的同時，通過設置的夾緊裝置對固定裝置進行調節(jié)，從而減小了勞動力，且大大提高了機械的工作效率。