一種用于制備半導(dǎo)體多晶硅的甲硅烷-氫氣混合氣的充裝方法及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110505719.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113309975A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113309975A 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) F17C5/00;F17C13/00;F17C13/02;B01J20/26;B01J20/18;C30B29/06;C30B28/14 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 甘華平;秦遠(yuǎn)望;李濤;陳躍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江陶特容器科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 314400 浙江省嘉興市海寧市周王廟鎮(zhèn)之江路30號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種用于制備半導(dǎo)體多晶硅的甲硅烷?氫氣混合氣的充裝方法及其應(yīng)用，該充裝方法中采用充裝系統(tǒng)進(jìn)行甲硅烷和氫氣的混配充裝，具體包括：分別對(duì)甲硅烷和經(jīng)改性分子篩吸附除雜的氫氣進(jìn)行純度檢測(cè)，檢測(cè)合格后，采用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行抽真空置換，將甲硅烷充裝到混合氣儲(chǔ)罐內(nèi)，再次對(duì)管路進(jìn)行抽真空置換，再將經(jīng)改性分子篩吸附除雜的氫氣充裝到混合氣儲(chǔ)罐內(nèi)，獲得甲硅烷?氫氣混合氣；所述改性分子篩為負(fù)載有氧化鈣的分子篩。采用本發(fā)明的充裝方法，能夠防止管路中的空氣影響混合氣純度，并利用改性分子篩提高除雜效率，更大限度地降低甲硅烷、氫氣混合氣中的雜質(zhì)含量。