一種高純一氧化氮的制備方法及其在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210005384.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114014281A 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN114014281A 申請公布日 2022-02-08
分類號 C01B21/24（2006.01）I;B01D53/04（2006.01）I;B01D53/56（2006.01）I;B01D53/78（2006.01）I;B01D53/96（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 甘華平;秦遠(yuǎn)望;王戰(zhàn)思;李濤 申請（專利權(quán)）人 浙江陶特容器科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 何俊
地址 314400浙江省嘉興市海寧市周王廟鎮(zhèn)之江路30號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一氧化氮?dú)怏w純化技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種高純一氧化氮的制備方法及其在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用。該制備方法包括以下步驟：將一氧化氮原料氣從下部通入FeSO4吸附塔內(nèi)，在塔內(nèi)形成向上的渦流，并將FeSO4溶液經(jīng)由螺旋狀噴淋管從螺旋噴嘴噴入FeSO4吸附塔內(nèi)，F(xiàn)eSO4吸附塔內(nèi)設(shè)有磁場強(qiáng)度從上到下遞增的梯度磁場，獲得吸附液；將吸附液升溫后，通入NO解吸塔中進(jìn)行解吸，解吸出的氣體從塔頂通入深冷冷凝器中，再通入硅膠吸附塔中，進(jìn)行硅膠吸附處理。本發(fā)明采用具有特殊結(jié)構(gòu)的FeSO4吸附塔對原料氣中的NO進(jìn)行吸收，能夠減少NO的歧化，并促進(jìn)FeSO4溶液將NO從原料氣中分離出來，有利于獲得更高純度的高純一氧化氮。