一種化學(xué)氣相沉積及退火連續(xù)制程裝置、方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110783355.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113564558A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113564558A 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類號(hào) C23C16/14（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/02（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 林文富;陳平陽(yáng);談益強(qiáng);林冠廷;邱琦朝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江陶特容器科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 沈濤
地址 314400浙江省嘉興市海寧市周王廟鎮(zhèn)之江路30號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積及退火連續(xù)制程裝置，其包括：用于進(jìn)行氣相沉積以及退火步驟的反應(yīng)室、用于向反應(yīng)室內(nèi)部輸送反應(yīng)氣體的氣體閥件模塊、用于向外排放反應(yīng)室內(nèi)部的制程尾氣并調(diào)節(jié)反應(yīng)室內(nèi)部的真空度的壓力控制模塊以及對(duì)壓力控制模塊輸送的制程尾氣進(jìn)行純化的尾氣循環(huán)模塊。本發(fā)明通過(guò)在同一設(shè)備中同時(shí)整合化學(xué)氣相沉積裝置以及退火裝置成一體，從而能夠大大減少企業(yè)購(gòu)置生產(chǎn)設(shè)備的成本，并能夠有效縮短鎢金屬物料的生產(chǎn)時(shí)間，增加了生產(chǎn)效率，提升機(jī)臺(tái)利用率，還能夠提升生產(chǎn)原物料的利用率，有效節(jié)約生產(chǎn)成本，從而能夠在回收?qǐng)?bào)廢離子源鎢制腔體中起到良好的應(yīng)用。