一種固態(tài)前驅(qū)體源存儲(chǔ)升華器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111070284.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113897593A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113897593A 申請(qǐng)公布日 2022-01-07
分類(lèi)號(hào) C23C16/448（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 談益強(qiáng);朱夢(mèng)玉;薛劍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江陶特容器科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠(chéng)專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 汪利勝
地址 314400浙江省嘉興市海寧市周王廟鎮(zhèn)之江路30號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種固態(tài)前驅(qū)體源存儲(chǔ)升華器，旨在解決固態(tài)前驅(qū)體源的揮發(fā)升華不穩(wěn)定，固態(tài)前驅(qū)體源的利用率低的不足。該發(fā)明包括存儲(chǔ)筒、安裝在存儲(chǔ)筒內(nèi)的若干托盤(pán)、托盤(pán)依次上下堆疊在一起，托盤(pán)內(nèi)設(shè)有若干周向間隔布設(shè)的分隔板，相鄰兩分隔板之間形成用于裝載固態(tài)前驅(qū)體源的儲(chǔ)料腔，分隔板上設(shè)有通氣窗使相鄰兩儲(chǔ)料腔連通，從而在托盤(pán)內(nèi)形成一圈氣道；一儲(chǔ)料腔內(nèi)設(shè)置隔離板，隔離板將該儲(chǔ)料腔分成進(jìn)氣腔和出氣腔，下一托盤(pán)上的出氣腔與上一托盤(pán)上的進(jìn)氣腔連通，從而使所有托盤(pán)上的氣道連通在一起形成通氣流道；存儲(chǔ)筒上設(shè)有載氣進(jìn)口和混合蒸汽出口，載氣進(jìn)口和混合蒸汽出口分別與通氣流道的兩端連通。