一種固態(tài)前驅(qū)體源存儲升華器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111070284.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113897593A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113897593A 申請公布日 2022-01-07
分類號 C23C16/448（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 談益強(qiáng);朱夢玉;薛劍 申請（專利權(quán)）人 浙江陶特容器科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 汪利勝
地址 314400浙江省嘉興市海寧市周王廟鎮(zhèn)之江路30號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種固態(tài)前驅(qū)體源存儲升華器，旨在解決固態(tài)前驅(qū)體源的揮發(fā)升華不穩(wěn)定，固態(tài)前驅(qū)體源的利用率低的不足。該發(fā)明包括存儲筒、安裝在存儲筒內(nèi)的若干托盤、托盤依次上下堆疊在一起，托盤內(nèi)設(shè)有若干周向間隔布設(shè)的分隔板，相鄰兩分隔板之間形成用于裝載固態(tài)前驅(qū)體源的儲料腔，分隔板上設(shè)有通氣窗使相鄰兩儲料腔連通，從而在托盤內(nèi)形成一圈氣道；一儲料腔內(nèi)設(shè)置隔離板，隔離板將該儲料腔分成進(jìn)氣腔和出氣腔，下一托盤上的出氣腔與上一托盤上的進(jìn)氣腔連通，從而使所有托盤上的氣道連通在一起形成通氣流道；存儲筒上設(shè)有載氣進(jìn)口和混合蒸汽出口，載氣進(jìn)口和混合蒸汽出口分別與通氣流道的兩端連通。