一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921825350.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210916235U 公開（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN210916235U 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類號(hào) C23C14/32 分類 -
發(fā)明人 彭建;田琳;夏虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京泰科諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 趙曉琳
地址 102212 北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置，涉及離子鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，包括引弧鉤、連接桿、波紋管、驅(qū)動(dòng)裝置和密封絕緣件，離子鍍膜裝置的真空腔室側(cè)壁上設(shè)有安裝孔，密封絕緣件固定在安裝孔內(nèi)并與安裝孔形成密封連接，驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸穿過密封絕緣件并與連接桿的一端固定連接，驅(qū)動(dòng)裝置能夠驅(qū)動(dòng)連接桿沿軸向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，波紋管的一端與密封絕緣件的一端固定連接、另一端固定套設(shè)于連接桿外并與連接桿形成密封連接，連接桿穿過波紋管與引弧鉤固定連接；離子鍍膜裝置包括真空腔室和上述的離子鍍膜用引弧裝置。本實(shí)用新型中，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)引弧鉤運(yùn)動(dòng)，作用力大，不易粘鉤，設(shè)置波紋管進(jìn)行靜態(tài)密封，真空腔室密封性好、真空不易被破壞。