一種石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111557284.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114196939A 公開(kāi)(公告)日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114196939A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) C23C16/26(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周文雅 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京泰科諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 鄭雷;莊博強(qiáng)
地址 102200北京市昌平區(qū)回龍觀鎮(zhèn)建材城西路87號(hào)院8號(hào)樓11層1-1218
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)系統(tǒng),包括機(jī)體和反應(yīng)框,機(jī)體的進(jìn)料口固定連接有進(jìn)料架,機(jī)體的出料口固定連接有出料架,機(jī)體的一側(cè)設(shè)置有用于將反應(yīng)框從出料架內(nèi)取出或?qū)⒎磻?yīng)框裝入進(jìn)料架的輔助裝置,反應(yīng)框包括位于反應(yīng)框底部的底板、固定于底板上的架體以及固定于支架上的反應(yīng)盒,出料架和進(jìn)料架均包括支撐板,兩個(gè)支撐板上均固定連接有墊塊,墊塊的頂面用于與底板的底面相抵觸,輔助裝置包括底座板,底座板的頂面上固定有支柱,支柱頂部固定連接有安裝板,安裝板的頂面上滑動(dòng)設(shè)置支撐桿,支撐桿上設(shè)置有阻礙底板脫離支撐桿的第一卡接機(jī)構(gòu)。本申請(qǐng)具有減少工作人員對(duì)反應(yīng)框的搬移工作,降低工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度的效果。