一種電阻蒸發(fā)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821143338.2 申請日 -
公開（公告）號 CN208917287U 公開（公告）日 2019-05-31
申請公布號 CN208917287U 申請公布日 2019-05-31
分類號 C23C14/26（2006.01）I; C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 施戈; 李長棟; 謝實(shí)洋 申請（專利權(quán)）人 北京泰科諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 王戈
地址 100000 北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種電阻蒸發(fā)器。該電阻蒸發(fā)器的蒸發(fā)器本體通過法蘭接口設(shè)置在真空設(shè)備內(nèi)，真空設(shè)備用于使蒸發(fā)器本體處于真空環(huán)境中；水冷電極與蒸發(fā)器本體連接，并穿過法蘭接口延伸至真空設(shè)備外；蒸發(fā)器本體包括坩堝、加熱器、屏蔽層、控溫?zé)犭娕己蚉ID控制器；坩堝的側(cè)面的外壁上包裹有加熱器，加熱器通過水冷電極與真空設(shè)備外的加熱電源電連接；加熱器的外側(cè)對應(yīng)設(shè)置多層屏蔽層；控溫?zé)犭娕嫉囊欢伺cPID控制器電連接，另一端穿過屏蔽層與加熱器對應(yīng)設(shè)置；PID控制器與加熱電源電連接。該電阻蒸發(fā)器能夠?qū)ζ渌幁h(huán)境的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，保證了坩堝內(nèi)溫度的穩(wěn)定，提高了待蒸發(fā)物質(zhì)蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性。