一種線性蒸發(fā)舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911179953.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110760799A 公開（公告）日 2020-02-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110760799A 申請(qǐng)公布日 2020-02-07
分類號(hào) C23C14/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭建;田琳;夏虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京泰科諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 張?zhí)煲?/td>
地址 102212 北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種線性蒸發(fā)舟包括蒸發(fā)室、進(jìn)料斗和夾持翼，所述進(jìn)料斗與所述蒸發(fā)室連接且內(nèi)部空間相通，所述進(jìn)料斗頂部開設(shè)有進(jìn)料口，所述夾持翼位于所述進(jìn)料斗外且與所述進(jìn)料斗連接，所述蒸發(fā)室頂部開設(shè)線性蒸發(fā)窄口，結(jié)合線性源和舟型源的優(yōu)點(diǎn)，提高了材料利用率，蒸鍍時(shí)配合基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)，提高了鍍膜均勻性，蒸發(fā)舟由板材直接剪切折彎而成，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工序，降低了制造成本，同時(shí)使蒸發(fā)口調(diào)節(jié)更加簡(jiǎn)單。