一種線性蒸發(fā)舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922075061.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN211445877U 公開(kāi)(公告)日 2020-09-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN211445877U 申請(qǐng)公布日 2020-09-08
分類號(hào) C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 彭建;田琳;夏虎 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京泰科諾科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 張?zhí)煲?/td>
地址 102212北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種線性蒸發(fā)舟包括蒸發(fā)室、進(jìn)料斗和夾持翼,所述進(jìn)料斗與所述蒸發(fā)室連接且內(nèi)部空間相通,所述進(jìn)料斗頂部開(kāi)設(shè)有進(jìn)料口,所述夾持翼位于所述進(jìn)料斗外且與所述進(jìn)料斗連接,所述蒸發(fā)室頂部開(kāi)設(shè)線性蒸發(fā)窄口,結(jié)合線性源和舟型源的優(yōu)點(diǎn),提高了材料利用率,蒸鍍時(shí)配合基片臺(tái)旋轉(zhuǎn),提高了鍍膜均勻性,蒸發(fā)舟由板材直接剪切折彎而成,簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工序,降低了制造成本,同時(shí)使蒸發(fā)口調(diào)節(jié)更加簡(jiǎn)單。??