一種鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610773101.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106119800B 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN106119800B 申請公布日 2019-06-21
分類號 C23C14/35（2006.01）I; C23C14/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭建; 施戈; 李長棟; 田琳 申請（專利權(quán)）人 北京泰科諾科技有限公司
代理機構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 李娜
地址 100000 北京市昌平區(qū)崔村鎮(zhèn)西辛峰村南6區(qū)1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鍍膜機，包括裝料機構(gòu)、真空爐、傳動輸送機構(gòu)、濺射靶組、真空抽吸組及控制中心，裝料機構(gòu)設(shè)置于真空爐頂端靠近邊緣處，裝料機構(gòu)的底部與真空爐連通；濺射靶組位于真空爐頂端且與裝料機構(gòu)相鄰處；傳動輸送機構(gòu)設(shè)置于真空爐內(nèi)且與濺射靶組對應(yīng)，傳動輸送機構(gòu)的底端與真空爐的底部內(nèi)側(cè)可拆卸連接；真空抽吸組位于真空爐的外側(cè)并通過管道與真空爐相通；裝料機構(gòu)內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有一加熱系統(tǒng)；傳動輸送機構(gòu)、濺射靶組、真空抽吸組及加熱系統(tǒng)均與控制中心電連接。本發(fā)明中的鍍膜機分三個階段抽真空，保證抽真空時不產(chǎn)生明顯壓差，避免粉末飛起；傳動輸送機構(gòu)一體設(shè)置便于拆卸替換或清理，還可根據(jù)粉體顆粒的大小進行合適的振動源的調(diào)節(jié)。