一種控制研磨產(chǎn)品BOW值加工的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910967920.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110722692B 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN110722692B 申請公布日 2021-09-07
分類號 B28D5/04;B24B37/10 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 余勝軍;盧海彬 申請（專利權）人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機構 遼寧鴻文知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 楊植
地址 223001 江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種控制研磨產(chǎn)品BOW值加工的方法，步驟如下：將4寸藍寶石晶棒使用多線切割機切割成晶片；分選；研磨減薄。本發(fā)明通過此種加工方式可以有效的控制研磨后產(chǎn)品的BOW值，提升產(chǎn)品良率，更好的控制產(chǎn)品在拋光后的BOW/WARP的一致性，對后制程MOCVD反向增長有較好的控制，從而增加產(chǎn)品的波長命中率及降低波長STD。