去除藍(lán)寶石單拋襯底背面色差的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110960902.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113680721A 公開（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113680721A 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類號(hào) B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02 分類 清潔;
發(fā)明人 丁云海;蘆玲;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 淮安市科文知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 廖娜;李鋒
地址 223001 江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶片加工領(lǐng)域，公開了一種去除藍(lán)寶石單拋襯底背面色差的清洗方法，藍(lán)寶石襯底研磨下機(jī)后使用流水沖洗掉表面的研磨砂，再將其于堿性清洗劑中浸泡20?30min后，使用流水沖掉表面的浮砂及清洗劑；邊噴活性劑邊雙面刷洗，最后噴純水沖洗掉活性劑；采用2~4倍壓縮的擦擦克林擦洗表面后，純水沖洗表面雜質(zhì)；使用酸性清洗劑浸泡800~1000s后，進(jìn)行QDR清洗；干燥、疊片、上爐、退火后，貼片、單面化學(xué)拋光后，通過(guò)鼓泡清洗表面的大顆粒；刷洗掉拋光面的臟污顆粒；使用科技海綿蘸取活性劑擦洗拋光面；去蠟清洗和堿洗。本發(fā)明解決了藍(lán)寶石襯底表面清洗不均勻?qū)е碌谋趁嫔顔?wèn)題，減少對(duì)PSS及外延工序的影響。