去除藍寶石單拋襯底背面色差的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110960902.X 申請日 -
公開(公告)號 CN113680721A 公開(公告)日 2021-11-23
申請公布號 CN113680721A 申請公布日 2021-11-23
分類號 B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02 分類 清潔;
發(fā)明人 丁云海;蘆玲;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請(專利權)人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機構(gòu) 淮安市科文知識產(chǎn)權事務所 代理人 廖娜;李鋒
地址 223001 江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶片加工領域,公開了一種去除藍寶石單拋襯底背面色差的清洗方法,藍寶石襯底研磨下機后使用流水沖洗掉表面的研磨砂,再將其于堿性清洗劑中浸泡20?30min后,使用流水沖掉表面的浮砂及清洗劑;邊噴活性劑邊雙面刷洗,最后噴純水沖洗掉活性劑;采用2~4倍壓縮的擦擦克林擦洗表面后,純水沖洗表面雜質(zhì);使用酸性清洗劑浸泡800~1000s后,進行QDR清洗;干燥、疊片、上爐、退火后,貼片、單面化學拋光后,通過鼓泡清洗表面的大顆粒;刷洗掉拋光面的臟污顆粒;使用科技海綿蘸取活性劑擦洗拋光面;去蠟清洗和堿洗。本發(fā)明解決了藍寶石襯底表面清洗不均勻?qū)е碌谋趁嫔顔栴},減少對PSS及外延工序的影響。