多線切割統(tǒng)一面型的加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910946952.5 申請日 -
公開(公告)號 CN110722691A 公開(公告)日 2020-01-24
申請公布號 CN110722691A 申請公布日 2020-01-24
分類號 B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 余勝軍;盧東陽 申請(專利權)人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機構 大連理工大學專利中心 代理人 溫福雪
地址 223001 江蘇省淮安市景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多線切割統(tǒng)一面型的加工方法,步驟如下:晶棒檢驗、粘棒、線切割工藝選擇、切割、下片和清洗。本發(fā)明的加工方法通過對線切割來回切割的切割能力控制一樣,將線切割加工后的面型統(tǒng)一控制為馬鞍型,有利于研磨對才產(chǎn)品BOW/WARP的去除和產(chǎn)品統(tǒng)一面型的控制;線切割后產(chǎn)品馬鞍狀占比85%以上。