多線切割統(tǒng)一面型的加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910946952.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110722691A 公開（公告）日 2020-01-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN110722691A 申請(qǐng)公布日 2020-01-24
分類號(hào) B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 余勝軍;盧東陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連理工大學(xué)專利中心 代理人 溫福雪
地址 223001 江蘇省淮安市景秀路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多線切割統(tǒng)一面型的加工方法，步驟如下：晶棒檢驗(yàn)、粘棒、線切割工藝選擇、切割、下片和清洗。本發(fā)明的加工方法通過對(duì)線切割來回切割的切割能力控制一樣，將線切割加工后的面型統(tǒng)一控制為馬鞍型，有利于研磨對(duì)才產(chǎn)品BOW/WARP的去除和產(chǎn)品統(tǒng)一面型的控制；線切割后產(chǎn)品馬鞍狀占比85％以上。