一種圖形化復合襯底

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822216504.3 申請日 -
公開（公告）號 CN209592073U 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN209592073U 申請公布日 2019-11-05
分類號 H01L33/22（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉堅 申請（專利權(quán)）人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機構(gòu) 大連理工大學專利中心 代理人 溫福雪
地址 223001 江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種圖形化復合襯底，包括藍寶石襯底，所述藍寶石襯底上設(shè)有光柵結(jié)構(gòu)陣列、交錯排列的溝道和覆蓋在光柵結(jié)構(gòu)陣列表面的薄膜層，光柵結(jié)構(gòu)覆蓋在整個藍寶石襯底表面，光柵結(jié)構(gòu)為向上凸起形成，溝道區(qū)在藍寶石襯底表面朝向該藍寶石內(nèi)部凹陷形成，交錯排列的溝道區(qū)將藍寶石表面分割成若干個獨立的子區(qū)域，光柵結(jié)構(gòu)陣列的材質(zhì)和溝道區(qū)填充物材質(zhì)均為阻擋外延生長的介質(zhì)層，覆蓋在光柵結(jié)構(gòu)陣列表面的薄膜層材質(zhì)為氮化鋁單晶。本實用新型不需要進行激光切割，就能實現(xiàn)LED芯片的分離，有效地避免了LED芯片光電性能損傷問題，改善了芯片的出光效率，并提高制程良率，降低生產(chǎn)成本。