帶力反饋電極的MEMS加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810751612.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109324212A 公開（公告）日 2019-02-12
申請公布號 CN109324212A 申請公布日 2019-02-12
分類號 G01P15/125 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳青山;鄭延景 申請（專利權）人 深圳市易聯(lián)科軟件技術有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)八卦三路36棟613
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 帶力反饋電極的MEMS加速度計，使用分離的電極可以增加這種裝置的動態(tài)范圍。優(yōu)勢包括，更好的靈敏度，更好的噪聲抑制，更好的信噪比。在實施例中，加速度計包括三個硅晶片，感測電極形成的全差分電容結構的電容器用于測量，力反饋電極形成的電容用于實現(xiàn)力反饋。這些電極被隔離在二氧化硅層上。在某些實施例中，加速度計還包括二氧化硅層、壓電結構、吸氣層、粘接片、粘接間隔和可以對檢測質量塊施加恢復力的力反饋電極。具有力反饋電極的MEMS加速度計可用于地球物理測量，例如用于地震傳感或聲學定位。