化學(xué)氣相沉積裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510209528.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104789944B 公開（公告）日 2017-06-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN104789944B 申請(qǐng)公布日 2017-06-20
分類號(hào) C23C16/458(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊肸曦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京精誠鉑陽光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 趙囡囡;吳貴明
地址 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)錦繡街7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積裝置，化學(xué)氣相沉積裝置包括：第一殼體，具有第一內(nèi)腔；輸送軸，穿設(shè)在第一殼體上并伸入至第一內(nèi)腔中；膠圈，膠圈設(shè)置在輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端上，還包括：第二殼體，具有第二內(nèi)腔以及與第二內(nèi)腔連通的開口面，第二殼體固定在第一殼體內(nèi)，并套設(shè)在輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端上；封堵部，封堵部可開合地設(shè)置在開口面處；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，封堵部與輸送軸通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端具有伸出開口面的伸出位置以及縮回至第二殼體內(nèi)的縮回位置，輸送軸的伸縮帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)封堵部開閉。本發(fā)明的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中膠圈和傳動(dòng)軸暴露在反應(yīng)腔室內(nèi)容易沉積膜層的問題。