平行度調(diào)節(jié)裝置及CVD生長膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510202608.7 申請日 -
公開（公告）號 CN104900473B 公開（公告）日 2017-04-05
申請公布號 CN104900473B 申請公布日 2017-04-05
分類號 H01J37/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梅艷慧;林繼柱;溫振興 申請（專利權(quán)）人 北京精誠鉑陽光電設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 北京精誠鉑陽光電設(shè)備有限公司
地址 101400 北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雁棲大街31號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種平行度調(diào)節(jié)裝置及CVD生長膜裝置。該平行度調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)層疊設(shè)置的第一板體和第二板體之間的平行度，平行度調(diào)節(jié)裝置包括：安裝部；多個調(diào)節(jié)部，多個調(diào)節(jié)部安裝在安裝部上，各調(diào)節(jié)部均包括驅(qū)動組件和執(zhí)行組件，執(zhí)行組件包括執(zhí)行件，執(zhí)行件的第一端連接在第一板體的遠離或靠近第二板體的側(cè)面上，驅(qū)動組件驅(qū)動執(zhí)行組件沿遠離或靠近第二板體的方向運動。本發(fā)明的平行度調(diào)節(jié)裝置及CVD生長膜裝置的結(jié)構(gòu)簡單，便于提高大面積的CVD設(shè)備的生產(chǎn)效率。