翻轉(zhuǎn)裝置、其操作方法及包括其的共蒸發(fā)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510203240.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104911560B 公開（公告）日 2018-05-18
申請公布號 CN104911560B 申請公布日 2018-05-18
分類號 C23C14/56;C23C14/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊斌 申請（專利權(quán)）人 北京精誠鉑陽光電設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 趙囡囡;吳貴明
地址 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)錦繡街7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種翻轉(zhuǎn)裝置、其操作方法及包括其的共蒸發(fā)設(shè)備。該翻轉(zhuǎn)裝置，用于翻轉(zhuǎn)工件，工件包括承載基板和玻璃基板，承載基板包括多個基板定位柱，且玻璃基板通過基板定位柱固定在承載基板上，其特征在于，翻轉(zhuǎn)裝置包括：翻轉(zhuǎn)臺和設(shè)置于翻轉(zhuǎn)臺上方的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，且翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括由多個吸盤組成的吸盤組；頂起裝置，包括設(shè)置于翻轉(zhuǎn)臺上的支撐架和位于支撐架上的頂針組，頂針組包括多個頂針，且頂針組中頂針的位置與吸盤組中吸盤的位置一一對應(yīng)；檢測裝置，設(shè)置于翻轉(zhuǎn)臺上，且檢測裝置用于測量玻璃基板的各位置與翻轉(zhuǎn)臺之間的距離。采用翻轉(zhuǎn)裝置能夠降低玻璃基板在翻轉(zhuǎn)時的破碎率。