一種垂直膜面方向具有硬磁性能且在面內(nèi)方向具有軟磁性能的磁性薄膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110708000.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113539607A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113539607A 申請公布日 2021-10-22
分類號 H01F10/16（2006.01）I;H01F10/14（2006.01）I;H01F41/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于廣華;劉冕宸;徐秀蘭;馮春;滕蛟;李明華 申請（專利權(quán)）人 廣東麥格智芯精密儀器有限公司
代理機構(gòu) 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 張仲波
地址 528200廣東省佛山市南海區(qū)大瀝鎮(zhèn)鹽步廣佛路橫江路段65號之五二樓245室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直膜面方向具有硬磁性能且在面內(nèi)方向具有軟磁性能的磁性薄膜及其制備方法，屬于磁性薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述磁性薄膜是利用磁控濺射儀于室溫下在基底材料上沉積而成，包括從下而上依次層疊的基底、AlNiCo永磁合金和Ag。所述制備方法包括：利用磁控濺射儀于室溫條件下通過直流濺射金屬靶材，在基底材料上依次沉積AlNiCo永磁合金和Ag；再將薄膜材料從磁控濺射儀中取出，放入超高真空退后爐中，在真空度優(yōu)于5.0×10Torr的條件下進行退火處理，退火溫度為750℃?900℃。利用該制備方法得到的磁性薄膜沿面內(nèi)方向具有軟磁性能且同時沿具垂直膜面方向有硬磁性能，拓寬了AlNiCo薄膜材料的使用性能，不僅可以用作磁碼盤材料，還可用作磁傳感器材料。