柔性壓力傳感器、制備方法及傳感系統(tǒng)、柔性電子皮膚

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011358763.5 申請日 -
公開(公告)號 CN112556895B 公開(公告)日 2022-02-08
申請公布號 CN112556895B 申請公布日 2022-02-08
分類號 G01L1/14(2006.01)I;B29C39/00(2006.01)I;B29C39/02(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 潘俊;毛善安;郭小輝;洪瑋強;邱雷;李典武;季芬芬;王威;韓磊;王科;鄭滿瑩;蘇雅鑫;程園;施婧 申請(專利權(quán))人 合肥艾創(chuàng)微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 婁岳
地址 231200安徽省合肥市肥西縣桃花工業(yè)園拓展區(qū)繁華西路合肥工投立恒工業(yè)廣場A2東第三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了柔性壓力傳感器、制備方法及傳感系統(tǒng)、柔性電子皮膚,包括相對平行設(shè)置的第一電極層、第二電極層;設(shè)置在所述第一電極層內(nèi)側(cè)的具有陣列式的第一尖端結(jié)構(gòu)的第一介質(zhì)層,所述第二電極層內(nèi)側(cè)設(shè)置有具有陣列式的第二尖端結(jié)構(gòu)的第二介質(zhì)層,柔性壓力觸覺傳感器受壓時,所述第一尖端結(jié)構(gòu)被至少兩個相鄰的所述第二尖端結(jié)構(gòu)擠壓,所述第一尖端結(jié)構(gòu)的頂端與所述第二平面激勵電極的水平面相觸,所述第二尖端結(jié)構(gòu)的頂端懸空。本發(fā)明結(jié)構(gòu)通過材料的改變,介質(zhì)層結(jié)構(gòu)的設(shè)計、布局,使得本發(fā)明克服粘滯效應帶來的恢復時間長的缺點,具有了更高的檢測靈敏度及更快的響應速度。