一種檢測(cè)用柱面鏡頭
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110240137.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113008133A | 公開（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113008133A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-22 |
| 分類號(hào) | G01B9/023;G01B11/24;G02B7/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 韓森;李雪園;賈文昕;張凌華;韓博;朱亦鳴;康巖輝;祝永進(jìn);俞大海 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215164 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛路150號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種檢測(cè)用柱面鏡頭，屬于光學(xué)干涉檢測(cè)領(lǐng)域涉，設(shè)置在干涉儀的焦前，用于檢測(cè)柱面鏡的表面形貌，該干涉儀發(fā)射平面光，其特征在于，包括：鏡筒，呈筒狀；平面鏡，固定在鏡筒中；以及計(jì)算全息圖CGH，用于與平面鏡相配合將平面光轉(zhuǎn)化為柱面光，固定在鏡筒中，其中，平面鏡與計(jì)算全息圖CGH沿干涉儀發(fā)射的平面光的光路依次設(shè)置在鏡筒內(nèi)，平面鏡與計(jì)算全息圖CGH互相平行且光軸重合。本發(fā)明提供的檢測(cè)用柱面鏡頭，還可以具有這樣的特征，其中，鏡筒包括罩筒、第一鏡座以及第二鏡座，罩筒呈筒狀，其兩端分別設(shè)置有向罩筒的軸線延伸的第一限位部以及第二限位部，第一鏡座呈筒狀，第二鏡座呈一端開口的柱狀。 |
