一種基于波前傳感器的紫外波前測試設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821811146.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209311051U 公開（公告）日 2019-08-27
申請公布號 CN209311051U 申請公布日 2019-08-27
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張斌; 有佳鑫 申請（專利權(quán)）人 南京智茂生命科學(xué)儀器研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京智茂生命科學(xué)儀器研究院有限公司;茂萊（南京）儀器有限公司
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)鋪崗街398號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于波前傳感器的紫外波前測試設(shè)備，包括激光器和波前傳感器，所述激光器發(fā)出光經(jīng)過測試光路后到達(dá)波前傳感器，測試光路中，激光器發(fā)出光依次通過旋轉(zhuǎn)毛玻璃、空間濾波器、準(zhǔn)直鏡I以45度照射到分束鏡I上，分束鏡I對一部分激光進(jìn)行90度反射后以45度照射到分束鏡II上，分束鏡II對照射的一部分激光進(jìn)行90度反射，反射的激光通過擴(kuò)束鏡I后由標(biāo)準(zhǔn)反射鏡180度反射，被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射的激光通過擴(kuò)束鏡I后再次照射到分束鏡II上，其中一部分光透過分束鏡II后再通過擴(kuò)束鏡II照射到波前傳感器上。與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，本實(shí)用新型測試設(shè)備采用波前傳感器進(jìn)行測量，提高了系統(tǒng)測試的動態(tài)范圍和測量精度。