一種壓力傳感器敏感元件的制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010725399.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111855034B 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN111855034B 申請公布日 2021-12-10
分類號 G01L1/16;G01L9/08;C23C16/04;C23C14/04;B33Y10/00;B29C64/10 分類 測量；測試;
發(fā)明人 方舟;梁敏 申請（專利權(quán)）人 蕪湖傳方智能科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥市科融知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱文軍
地址 241002 安徽省蕪湖市弋江區(qū)蕪湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)綜合服務(wù)區(qū)A3棟3層304
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及傳感器元件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種壓力傳感器敏感元件的制造工藝，包括基材切片、腔座打印、電極沉積和檢測封裝，其中采用的覆材機包括機臺、層印頭、調(diào)姿桿和控制器；所述機臺的外側(cè)設(shè)有調(diào)姿桿，調(diào)姿桿的端部與切片的邊緣相接觸；由于敏感元件在制造的生產(chǎn)過程中，機臺上切片安裝的定位過程耗費了額外的時間，且在待加工切片型號發(fā)生改變時，需要對應(yīng)調(diào)整機臺上切片的定位裝置，繼而降低了覆材機的加工效率；故此，本發(fā)明通過設(shè)置在機臺上的圓環(huán)與其外部的調(diào)姿桿相配合，通過控制圓環(huán)的移動和調(diào)姿桿的轉(zhuǎn)動范圍，滿足不同尺寸切片在機臺上的定位精度，并優(yōu)化了切片在機臺上的定位過程，從而提升了壓力傳感器敏感元件的制造工藝效率。