一種硅部件的超聲波清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122068501.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN215902335U 公開(kāi)(公告)日 2022-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN215902335U 申請(qǐng)公布日 2022-02-25
分類(lèi)號(hào) B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類(lèi) 清潔;
發(fā)明人 潘連勝;潘一鳴;王莉莉 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 福建精工半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市寬勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 廖秀玲
地址 362000福建省泉州市南安市霞美鎮(zhèn)光電信息產(chǎn)業(yè)基地恒通路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅部件的超聲波清洗裝置,包括清洗機(jī)本體、設(shè)于所述清洗機(jī)本體上用于盛放清洗液的清洗槽、設(shè)于所述清洗槽兩側(cè)上用于發(fā)出超聲波清洗硅部件的超聲波發(fā)生器,所述清洗槽上可拆卸設(shè)有用于容納硅部件的容納架,所述清洗槽內(nèi)底端設(shè)有用于帶動(dòng)所述容納架上硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行清洗的硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置;本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,帶動(dòng)容納架上的硅部件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),使得在清洗過(guò)程中硅部件各個(gè)位置都可以得到清洗,防止了硅部件與容納架接觸位置無(wú)法得到有效的清洗的問(wèn)題發(fā)生,使得清洗效率得到提高,清洗效果更好。