一種硅部件的超聲波清洗裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202122068501.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215902335U | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請公布號(hào) | CN215902335U | 申請公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 潘連勝;潘一鳴;王莉莉 | 申請（專利權(quán)）人 | 福建精工半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市寬勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 廖秀玲 |
| 地址 | 362000福建省泉州市南安市霞美鎮(zhèn)光電信息產(chǎn)業(yè)基地恒通路16號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種硅部件的超聲波清洗裝置，包括清洗機(jī)本體、設(shè)于所述清洗機(jī)本體上用于盛放清洗液的清洗槽、設(shè)于所述清洗槽兩側(cè)上用于發(fā)出超聲波清洗硅部件的超聲波發(fā)生器，所述清洗槽上可拆卸設(shè)有用于容納硅部件的容納架，所述清洗槽內(nèi)底端設(shè)有用于帶動(dòng)所述容納架上硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行清洗的硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置；本實(shí)用新型通過設(shè)置硅部件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，帶動(dòng)容納架上的硅部件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使得在清洗過程中硅部件各個(gè)位置都可以得到清洗，防止了硅部件與容納架接觸位置無法得到有效的清洗的問題發(fā)生，使得清洗效率得到提高，清洗效果更好。 |
