一種硅部件清洗存放裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121528508.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215236292U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215236292U 申請公布日 2021-12-21
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 潘連勝;潘一鳴;王莉莉 申請（專利權(quán)）人 福建精工半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 泉州市寬勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 廖秀玲
地址 362000福建省泉州市南安市霞美鎮(zhèn)光電信息產(chǎn)業(yè)基地恒通路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅部件清洗存放裝置，包括用于承接水來清洗硅部件的清洗槽，所述清洗槽內(nèi)設(shè)有用于放置硅部件的清洗架，所述清洗架上設(shè)置有用于清洗硅部件的清洗裝置，所述清洗裝置包括若干個設(shè)于所述清洗架上用于向放置于所述清洗架上的硅部件噴射水流的噴射管、設(shè)于所述清洗槽上用于將所述清洗槽內(nèi)水導(dǎo)入噴射管內(nèi)噴出的增壓泵，所述清洗槽上設(shè)有用于帶動所述清洗槽內(nèi)水循環(huán)流動的循環(huán)裝置，所述清洗槽上設(shè)有用于將所述清洗槽內(nèi)水全部排出的排水裝置。