一種用于光致發(fā)光測試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811564308.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111355118B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111355118B 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01S5/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張楊;李弋洋 申請（專利權(quán)）人 中科芯電半導(dǎo)體科技（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張素紅
地址 100076 北京市大興區(qū)西紅門鎮(zhèn)金盛大街2號院23號樓二層（中科芯電）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于光致發(fā)光測試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括經(jīng)過裁剪的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料樣品，藍膜和基底，所述VCSEL結(jié)構(gòu)外延樣品直立設(shè)置，且通過藍膜粘貼固定在基底上。本發(fā)明還提供了一種上述VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)的制備方法。本發(fā)明提供的一種用于光致發(fā)光測試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)及制備方法，通過對VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料的裁剪并采用通過藍膜將其固定在基底上的形式，解決了VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料因厚度較厚無法直接進行光致發(fā)光測試的問題。