一種用于光致發(fā)光測(cè)試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)及制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811564308.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111355118A | 公開（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111355118A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-30 |
| 分類號(hào) | H01S5/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張楊;李弋洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中科芯電半導(dǎo)體科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張素紅 |
| 地址 | 100076 北京市大興區(qū)西紅門鎮(zhèn)金盛大街2號(hào)院23號(hào)樓二層（中科芯電） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于光致發(fā)光測(cè)試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括經(jīng)過裁剪的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料樣品，藍(lán)膜和基底，所述VCSEL結(jié)構(gòu)外延樣品直立設(shè)置，且通過藍(lán)膜粘貼固定在基底上。本發(fā)明還提供了一種上述VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)的制備方法。本發(fā)明提供的一種用于光致發(fā)光測(cè)試的VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料結(jié)構(gòu)及制備方法，通過對(duì)VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料的裁剪并采用通過藍(lán)膜將其固定在基底上的形式，解決了VCSEL結(jié)構(gòu)外延材料因厚度較厚無法直接進(jìn)行光致發(fā)光測(cè)試的問題。 |
